高精度行星减速机可看成是由一组薄片宜齿齿轮错位放置成的圆柱齿轮，这样每一片的接触是在齿廓的不同部位，从而产生了补偿每个薄片齿轮误差的作用，这个补偿作用由于轮齿的弹性而非常有效，因而得出这样的结果，误差在10mm以内的轮齿能够使误差起平均作用，因而在有负载情况下，能如误差为1mm内的轮齿那样平稳运行。
   高精度行星减速机在任何瞬时，大约有一半时间（假定重合度约为1.5）将有两个齿啮合，这就在强度方面带来额外的好处。因此应力可建立在1.5倍齿宽，而不是一个齿宽的基础上。
  高精度行星减速机采用宽齿面斜齿轮，实现高强度，从而可以将参数做到*大，内齿环与外齿圈一体化设计，紧锁环经动平衡分析，确保运转中同心度和零滑差传动，采用螺旋伞齿轮，高精度咬合，从而可以将精度做到更高，噪音相对直齿行星减速机更低。
  由于高精度行星减速机的高强度，高精度（可以*到0.1转/min）因此被广泛应用于：印刷机械、切割机械、医疗机械、纺织机械、包装机械、食品机械、建筑机械、木工机械、石油机械、数控机床、机械手臂、机器人、船舶、航天航空等对精度要求高的自动化机械设备。